誘導加熱黒鉛サセプター
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- Intro: 黒鉛サセプター暖房黒鉛 SusceptorObjectiveTo 熱黒鉛サセプター窒素と水素の不活性雰囲気の中で 1100C に暖房。下金属酸化物の化学気相蒸着 (MOCVD) 結晶成長そこを使用するのには.
黒鉛サセプターの加熱
黒鉛サセプターの加熱
目的
黒鉛サセプター ~ 1100 ℃、不活性雰囲気中の窒素と水素で加熱するには。下は、金属酸化物の化学気相蒸着 (MOCVD) 結晶成長実験のためです。達する温度の検証は重要です。
素材グラファイト サセプター 3 ″ 直径と 1 1/4 の厚さの測定します。
温度 1100 ℃
周波数 171 kHz
30 Kw 固体誘導電源を含む 2 2 1.0 μ F コンデンサーや高圧トランス、4 4 1 1 リモート熱駅などの電源を機器にヘリカル コイル内径・ 1 1/2 の ″ の長さ"5"を。
30 Kw 固体誘導電源 4 4 のプロセス、電源にヘリカル コイルと IR 光学温度計の 2 つの色は、次の結果を達成するために使用されました。
結果 • 1100 ℃ 5 5 分として 2 色 IR 光学温度計からの読み取りに到達しました。
• 熱パターンが観察されました。
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