Индукции Отопление графит Susceptor

Отопление Susceptor графит

Цель

Для обогрева графит susceptor до 1100 ° C в инертной атмосфере азота и водорода. Susceptor должен использоваться для металло-оксидный химических паров осаждения (MOCVD) кристалл роста экспериментов. Проверка температуры достиг имеет решающее значение.
Материал графит Susceptor измерения 3″ в диаметре и 1 1/4 толщиной.
Температура 1100 ° C
Частота 171 кГц
Мощность оборудования 30KW твердого индукции питания включая одного (1) удаленного ТЭЦ содержит два (2) 1.0 μF конденсаторы и высокого напряжения трансформатора и четыре (4) поверните спиральные катушки с 5″ внутри диаметра и длины 1 1/2″.
Процесс сила 30KW твердого индукции источник питания с четырьмя (4) повернуть спиральные катушки и два цвета IR оптический пирометр были использованы для достижения следующих результатов:
Результаты • 1100 ° C было достигнуто в течение пяти (5) минут как прочитанное из оптический пирометр двухцветный IR.
• Шаблон даже тепло было отмечено.

Tags: Индукции Отопление графит Susceptor